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為使勻膠旋涂儀達(dá)到預(yù)期的效果,在使用時(shí)應(yīng)注意這幾點(diǎn)

閱讀:2914      發(fā)布時(shí)間:2021-5-8
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  勻膠旋涂儀快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速,能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。主要用于微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。勻膠旋涂儀的使用注意事項(xiàng):

  1、在開機(jī)前,要抬起控制鍵以及吸片鍵,將電源開啟以后,分別將各鍵按下進(jìn)行操作,從而使沒有啟動(dòng)電機(jī)就轉(zhuǎn)動(dòng)得以避免。

  2、片子尺寸不一樣,選用的片托的尺寸也不一樣,厚度低于1.5毫米的片子對(duì)帶吸氣槽的片托進(jìn)行選用,厚度高于1.5毫米的片子,對(duì)O型圈的片托進(jìn)行選用。

  3、相比于片托有效尺寸,所甩的樣片的尺寸要大大約2-3毫米。若使用大片托甩小的樣片,就會(huì)漏氣,與此同時(shí)導(dǎo)致往抽氣室內(nèi)吸入膠。

  4、若一不小心被吸入了抽氣室,需要馬上進(jìn)行清洗,不然片托、光電盤、電機(jī)軸就會(huì)粘在一起,導(dǎo)致電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng),拆卸也變得非常困難。

  5、在使用結(jié)束后,應(yīng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔。

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