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中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水GB/TII446.1-1997標(biāo)準(zhǔn)

閱讀:3658          發(fā)布時(shí)間:2015-9-15

中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水GB/TII446.11997標(biāo)準(zhǔn)



 指標(biāo)\級(jí)別

 EW

 EW

EW 

EW-

 電阻率 MΩcm(25)

18以上,(95%時(shí)間)不低于17

15,(95%時(shí)間)不低于13

 12.0   

0.5   

 全硅,zui大值,μg/L

2

10

50

1000

 1μm微粒數(shù),zui大值,個(gè)/mL

0.1

5

10

500

 細(xì)菌個(gè)數(shù),zui大值,個(gè)/mL

0.01

0.1

10

100

 銅,zui大值,μg/L

0.2

1

2

500

 鋅,zui大值,μg/L

0.2

1

5

500

 鎳,zui大值,μg/L

0.1

1

2

500

 鈉,zui大值,μg/L

0.5

2

5

1000

 鉀,zui大值,μg/L

0.5

2

5

500

 氯,zui大值,μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根,zui大值,μg/L

1

1

5

500

 磷酸根,zui大值,μg/L

1

1

5

500

 硫酸根,zui大值,μg/L

1

1

5

500

 總有機(jī)酸,zui大值,μg/L

20

100

200

1000


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