ICP發(fā)射光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，ICP發(fā)射光譜法是根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。
一、ICP發(fā)射光譜儀的維修保養(yǎng)：
1.儀器要有良好的使用環(huán)境。環(huán)境溫濕度變化過大儀器各部件容易受潮或者損壞，所以室內濕度應控制在要求范圍之間，并配備空氣凈化裝置。
2.儀器的供電線路要符合要求。為保證ICP的安全運行，供電線路必須要有足夠大的容量，否則儀器運行時線路的電壓降過大，影響儀器壽命。
3.當實驗室內需要采用排風機排除儀器的熱量及工作時產生的氣體時，室外含有大量灰塵的空氣流入室內，積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路漏電等故障，因此需要經常進行除塵。
4.ICP的氣體控制系統(tǒng)是否穩(wěn)定正常地運行，直接影響到儀器測定數(shù)據(jù)的好壞，如果氣路中有水珠、機械雜物雜屑等都會造成氣流不穩(wěn)定，因此，對氣體控制系統(tǒng)要經常進行檢查和維護。
5.霧化器是進樣系統(tǒng)中精密及關鍵的部份，需要很好的維護使用及定期清理，否則可能導致測定強度下降，儀器反射功率升高等。
6.使用中盡量減少開停機的次數(shù)，儀器頻繁開啟容易造成損壞，使用中需要倍加注意。
二、ICP發(fā)射光譜儀使用注意事項：
1、進樣前進樣系統(tǒng)的檢查。
2、測定后進樣系統(tǒng)的檢查和清洗。
3、廢液桶中的廢液要經常清理。
4、炬管、霧化器及霧室的清洗。
5、冷卻水、真空泵油、分子篩的定期更換。
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