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?CF4泄漏分析儀都可以測量哪些參數(shù)?

閱讀:2829      發(fā)布時(shí)間:2021-2-9
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  ?CF4泄漏分析儀基于超靈敏的懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜檢測技術(shù),結(jié)合量子級聯(lián)激光(QCL)光源,致力于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度,可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出,同時(shí)確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年,從而大大降低了總體擁有成本。
  ?CF4泄漏分析儀超靈敏的專業(yè)光學(xué)麥克風(fēng),基于微電機(jī)懸臂梁傳感器,結(jié)合激光干涉儀來測量懸臂梁的微觀運(yùn)動(dòng),光源配置:分布式反饋量子級聯(lián)激光器,樣品電池溫度穩(wěn)定在50℃。
 

CF4泄漏分析儀

  CF4泄漏分析和檢測要求:潔凈室需要控制污染物的水平。準(zhǔn)確,可靠和低維護(hù)的潔凈室空氣分子污染物AMC控制可以顯著提高生產(chǎn)率。高度靈敏的GASERAONECF4可以快速檢測生產(chǎn)環(huán)境中的污染物。另外,由于其零背景特性,直接吸收檢測可以確保長期的高穩(wěn)定性。GASERAONECF4可以與其他檢測儀器集成在一起,例如機(jī)柜中的顆粒物監(jiān)測儀。
  ?CF4泄漏分析儀可以測量哪些參數(shù)?
  1、響應(yīng)時(shí)間:取決于用戶定義的通道積分時(shí)間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)置,它從大約15秒到幾分鐘不等。
  2、監(jiān)測下限:N2O2ppb,CH410ppb。
  3、動(dòng)態(tài)范圍:5個(gè)數(shù)量級(檢測下限的100,000倍)。
  4、重復(fù)性:在操作條件下,校準(zhǔn)濃度的重復(fù)性小于1%。
  5、準(zhǔn)確度:在校準(zhǔn)濃度下優(yōu)于5%,這受校準(zhǔn)氣體的準(zhǔn)確性限制。
  6、溫度穩(wěn)定性:工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)引起漂移。
  7、壓力穩(wěn)定性:樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會(huì)引起漂移。
  

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