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AMC在線監(jiān)測突破傳統(tǒng),讓監(jiān)測效率更高

閱讀:3698      發(fā)布時間:2021-1-21
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  AMC在線監(jiān)測空氣分子污染的實時監(jiān)測對于半導體生產過程非常重要??焖俦O(jiān)視,警報,低濃度測量,寬測量范圍以及對多種氣體的高度敏感響應是半導體行業(yè)的要求。深紫外光刻工藝特別注意氨,胺,N-甲基吡咯烷酮NMP,酸等的濃度測量。當這些氣體與化學放大的光致抗蝕劑反應時,它們會嚴重影響半導體器件的質量。傳統(tǒng)的古代方法大多使用間接測量和分析方法,包括沖擊濾池,離子色譜法,化學熒光法,這些方法分析速度太慢,操作過程太復雜,價格昂貴且測量結果不準確。
 

AMC在線監(jiān)測

  AMC在線監(jiān)測技術解決了AMC(空氣分子污染物)監(jiān)測的問題,該監(jiān)測可以快速測量NH3,HCL,HF的痕量水平,使用脈沖熒光測量SO2,并使用增強的GC-FID測量VOC。3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)可測量NH3,HCL,HF的痕量水平,并整合了uVOC-CAM的特性。它是用于半導體行業(yè)中潔凈室AMC(空氣分子污染)測量的強大工具。
  AMC在線監(jiān)測還集成了一個多點監(jiān)測系統(tǒng),該系統(tǒng)可以按順序將氣體泵送到分析儀或傳感器,并讀取測量結果。3100S內嵌的警報,報告和分析軟件是由在半導體行業(yè)具有多年經驗的工程師共同開發(fā)的。使用以太網,RS485/RS232或4-20mA模擬量模塊從4?6個分析儀或傳感器輸出數(shù)據(jù)。每臺分析儀均配有用于數(shù)據(jù)存儲和數(shù)據(jù)輸出的內置計算機,還支持遠程網絡控制,操作或診斷。

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