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SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子層沉積系統(tǒng)，具有良好的均勻性及*的階梯覆蓋性能，使用戶能夠精確控制每個原子層的沉積。通過手套箱，可在惰性氣體環(huán)...
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