X射線衍射儀通過(guò)對(duì)材料進(jìn)行X射線衍射，分析其衍射圖譜，獲得材料的成分、材料內(nèi)部原子或分子的結(jié)構(gòu)或形態(tài)等信息。其原理為：
將單色X射線照到晶體樣品上，若其中一個(gè)晶粒的一組晶面取向和入射X射線夾角為θ時(shí)，滿足衍射條件，則在衍射角2θ處產(chǎn)生衍射。樣品中有多個(gè)晶粒并滿足衍射。通過(guò)使用X射線衍射儀的探測(cè)器以一定的角度繞樣品旋轉(zhuǎn)，接收到粉晶中不同網(wǎng)面、不同取向的全部衍射線，獲得相應(yīng)的衍射圖譜。

X射線衍射儀分為單晶衍射儀和多晶衍射儀兩種。

單晶衍射儀的被測(cè)對(duì)象為單晶體試樣，主要用于確定未知晶體材料的晶體結(jié)構(gòu)?；驹恚涸谝涣尉w中原子或原子團(tuán)均是周期排列的。將X射線（如Cu的Kα輻射）射到一粒單晶體上會(huì)發(fā)生衍射，由對(duì)衍射線的分析可以解析出原子在晶體中的排列規(guī)律，也即解出晶體的結(jié)構(gòu)。

多晶衍射儀也被稱為粉末衍射儀，被測(cè)對(duì)象通常為粉末、多晶體金屬或高聚物等塊體材料。主要由X射線發(fā)生器、測(cè)角儀（測(cè)量角度2θ的裝置）、X射線探測(cè)器（測(cè)量X射線強(qiáng)度的計(jì)數(shù)裝置）、X射線系統(tǒng)控制裝置（數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和各種電氣系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)）。