在波長色散式光譜儀中，X 射線光管用作直接照射樣品的光源，并且使用波長色散式檢測(cè)系統(tǒng)來測(cè)量樣品發(fā)出的熒光。分光晶體根據(jù)波長（而不是能量）來分離 X 射線，可用于識(shí)別每種不同元素發(fā)出的特征輻射。此類分析可以通過逐一（依次）測(cè)量不同波長的 X 射線強(qiáng)度來完成，或者在固定位置同時(shí)測(cè)量所有不同波長的 X 射線強(qiáng)度。?

而在能量色散式光譜儀中，X 射線光管用作直接照射樣品的光源，并且使用能量色散式探測(cè)器來測(cè)量樣品發(fā)出的熒光。此探測(cè)器可以測(cè)量樣品直接發(fā)出的特征輻射的不同能量。該探測(cè)器可以將樣品發(fā)出的輻射與樣品中存在的不同元素所發(fā)出的輻射分離開來。 這種分離就稱為分散。
EDXRF 光譜測(cè)定的優(yōu)勢(shì)：

小巧緊湊的儀器設(shè)計(jì)

幾乎不需要維護(hù)

無需使用水、壓縮空氣或氣體

耗電量低

更高的系統(tǒng)分辨率

可同時(shí)執(zhí)行元素分析