X射線熒光光譜儀優(yōu)點：

1)可在一臺儀器上可實現(xiàn)掃描式X射線波長色散分析、X射線能量色散分析、X-射線聚焦微小區(qū)域分析、游離氧化鈣X射線衍射分析。

2)波長色散通道（波譜核）和能量色散通道（能譜核）可同時分別得到Be- Am 和Na-Am 所有元素的光譜數(shù)據(jù)和定量分析結(jié)果。

3)軟件可以得到上述各種分析技術(shù)的譜圖，可對同一樣品得到由波長色散和能量色散光譜同時分析的統(tǒng)一定量結(jié)果。

4)軟件可根據(jù)分析樣品的狀態(tài)，濃度范圍，相關(guān)標(biāo)樣信息和分析要求既準(zhǔn)確度、精度和靈敏度自動設(shè)定分析條件。

5)自動進(jìn)樣器：可自動識別液體樣品.具有緊急樣品優(yōu)先分析功能