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離子清洗機活化系統(tǒng)結構主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。

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大氣低溫直噴等離子清洗機等離子清洗機的結構主要分為三大組成部分，分別是高壓激勵電源、等離子發(fā)生裝置噴槍、控制系統(tǒng)。

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真空等離子清洗儀器結構主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。

等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細...