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掃描電子顯微鏡對(duì)樣品有哪些要求？其影像的影響因素有哪些？
閱讀：3757 發(fā)布時(shí)間：2021-4-23
掃描電子顯微鏡基本要點(diǎn)是用極狹窄的電子束來(lái)掃描樣品，即電子束在樣品上作光柵運(yùn)動(dòng)。電子束與樣品相互作用將會(huì)產(chǎn)生樣品的二次電子發(fā)射，二次電子能產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序地建立起來(lái)的，即用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大的像。
掃描電子顯微鏡對(duì)樣品的要求：
1、不會(huì)被電子束分解
2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好
3、能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道
4、大小與厚度要適于樣品臺(tái)的安裝
5、觀察面應(yīng)該清潔，無(wú)污染物
6、進(jìn)行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整
7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場(chǎng)的影響
顯微鏡影像品質(zhì)的影響因素有：
A. 電子槍的種類:使用場(chǎng)發(fā)射、LaB6或鎢絲的電子槍。
B. 電磁透鏡的完善度。
C. 電磁透鏡的型式: In-lens ,semi in-lens, off-lens
D. 樣品室的潔凈度: 避免粉塵、水氣、油氣等污染。
E. 操作條件: 加速電壓、工作電流、儀器調(diào)整、樣品處理、真空度。
F. 環(huán)境因素: 振動(dòng)、磁場(chǎng)、噪音、接地。