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表面三維形貌檢測(cè)儀在工業(yè)改進(jìn)中不斷革新
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，微電子、光學(xué)、機(jī)械行業(yè)對(duì)超精密加工元件的表面面形精度檢測(cè)要求越來(lái)越高，工業(yè)生產(chǎn)在線檢測(cè)對(duì)測(cè)量?jī)x器的穩(wěn)定性、便攜性、靈活性和功能性提出了更高的要求。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有儀器均局限于實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)，用于在線檢測(cè)的表面三維形貌檢測(cè)儀*依賴進(jìn)口，價(jià)格昂貴。本作品旨在設(shè)計(jì)一款高性能、低成本表面形貌在線檢測(cè)儀，滿足相關(guān)產(chǎn)業(yè)檢測(cè)需求?；驹O(shè)計(jì)思路：本作品在Mirau型干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上，改進(jìn)了光機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和軟件算法。在保證精度的前提下，本作品體積減小，穩(wěn)定性提高，滿足了在線檢測(cè)的要求。創(chuàng)新點(diǎn)：1、采用光機(jī)電算集成化技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了光機(jī)系統(tǒng)緊湊化設(shè)計(jì)，建立了軟件與電路系統(tǒng)通過(guò)自反饋矯正系統(tǒng)誤差的機(jī)制，滿足了在線檢測(cè)要求；2、測(cè)量臺(tái)采用背測(cè)式結(jié)構(gòu)，具有正置、倒置兩種測(cè)量模式，打破了被測(cè)元件尺寸限制，可以實(shí)現(xiàn)被測(cè)件的快速切換；3、該作品采用重疊平均移相干涉算法和自主開(kāi)發(fā)的軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)測(cè)量過(guò)程的自動(dòng)控制。
在市場(chǎng)需求的推動(dòng)下，用于工業(yè)生產(chǎn)的干涉儀向小型化發(fā)展，并且對(duì)儀器的抗干擾能力、操作簡(jiǎn)便性、測(cè)量精度、橫向與縱向測(cè)量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低、功能強(qiáng)的型表面微觀形貌檢測(cè)儀器，具有很好的發(fā)展前景。