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用納米級(jí)精度測(cè)量微小零件復(fù)雜的表面幾何形狀
以納米級(jí)精度測(cè)量復(fù)雜表面幾何形狀的微小零件
不斷小型化是半導(dǎo)體行業(yè)的長(zhǎng)期發(fā)展趨勢(shì)。微小部件的生產(chǎn)和質(zhì)量控制對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了挑戰(zhàn)。
在微機(jī)電和光學(xué)元件的生產(chǎn)中，產(chǎn)品良率取決于復(fù)雜表面幾何形狀尺寸的一致性。由于微系統(tǒng)技術(shù)中的產(chǎn)品設(shè)計(jì)通常是三維的，因此不能簡(jiǎn)單地用傳統(tǒng)的二維光學(xué)視覺系統(tǒng)進(jìn)行檢測(cè)。傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)以及接觸式測(cè)量?jī)x很難測(cè)量出高深寬比的結(jié)構(gòu)。而這些正是NanoFocus測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)所在。
應(yīng)用
利用μsurf、μscan和μsprint，可以在制造過(guò)程的各個(gè)階段通過(guò)非接觸無(wú)損方式測(cè)量并自動(dòng)評(píng)估微部件的幾何形狀。在機(jī)械、光學(xué)及化工行業(yè)，NanoFocus測(cè)量系統(tǒng)幫助制造商在生產(chǎn)過(guò)程中降低成本同時(shí)提高良率。
壓力傳感器
在通過(guò)蝕刻生產(chǎn)高壓傳感器時(shí)，需要檢查各種幾何參數(shù)，例如深度、寬度和層厚度以及粗糙度，進(jìn)而對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行配置。使用μsurf一次測(cè)量即可獲取表面粗糙度、支柱的微觀幾何尺寸以及金屬表面的涂層厚度等信息。
菲涅爾透鏡
在檢測(cè)玻璃表面的亞微米結(jié)構(gòu)時(shí)，要求即使在弱反射的情況下，測(cè)量?jī)x器可以穩(wěn)定測(cè)量同時(shí)保證高分辨率。適用于各種表面特性的μsurf*上述要求。
蘇州曼戈斐儀器提供玻璃、鏡片、雙攝像頭模組等翹曲度測(cè)量、面形測(cè)量、弧高測(cè)量、面輪廓度測(cè)量、指紋識(shí)別測(cè)量、芯片翹曲測(cè)量、磨損體積測(cè)量等樣品免費(fèi)測(cè)量，歡迎垂詢！