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北京中慧天誠科技有限公司

用四探針法測量樣品的電阻率

時間:2017-11-21閱讀:555
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四探針電阻率/方阻測試儀(靈敏度:10μV) 型號: GDS/KDY-1

四探針電阻率測試儀是嚴格按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。
功能特點:
1.配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測過程中的電流變化,使操作簡便,測量。
3.設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4.流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之五精度)的恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。
5.儀器采用觸點電阻低(<5mΩ)、使用壽命長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10),在緣電阻、電流容量方面留有大的系數(shù),提高了測試儀的性和使用壽命。
6.可加配電腦,使用軟件進行數(shù)據(jù)采集,實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值,zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7.可配電動測試架,自動上下運行,使測量方便快捷。
8.四探針頭采用上的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測量重復(fù)性提高。
參數(shù):
電  壓  表:0-199.99mV
靈  敏  度:10μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差:±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
電  阻  率:10-4—1.9×104Ω·cm
方塊電阻:10-3—1.9×105Ω/□
電流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
備注:四探針電阻率儀標(biāo)準(zhǔn)配置為主機+手動測試架+測試探針,用戶可根據(jù)需要選配電動測試架和操作軟件以及其它規(guī)格的測試探針。

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