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廣州紋徠儀器儀表有限公司
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MF4008-50-R-BV-A氣體質(zhì)量流量計(jì)協(xié)議說(shuō)明:
MF4008-50-R-BV-A氣體質(zhì)量流量計(jì)工作原理
MF4008-50-R-BV-A小流量流量計(jì)是基于廣州紋徠儀器儀表有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生 與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過(guò)傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片.上的傳感器將測(cè)量這一-變化并把這-變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一個(gè)專門的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
