石英晶體微天平可以測到的質(zhì)量變化相當于單分子層或原子層的幾分之一，系統(tǒng)主要由電子振蕩電路、頻率計數(shù)器和壓電石英晶體3部分組成。隨著射頻系統(tǒng)小型化及對晶振抗振性、相位噪聲等參數(shù)要求越來越高，石英晶體諧振器尺寸進一步減小。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術利用IC加工技術實現(xiàn)微納米尺度加工，在加工精度、加工手段等方面具有先天優(yōu)勢，因此石英晶體技術與技術的結合成為必然趨勢。共振頻率變化與沉積于石英晶體表面的物質(zhì)質(zhì)量成線性關系，共振時的電阻隨與表面接觸物質(zhì)的黏/彈性而變化。

　　溫度能影響分子的聚集程度,在32℃的情況下，會發(fā)生親水基被包進分子內(nèi)部而發(fā)生構型轉變導致其分子間斥力減小，分子卷曲而吸附于金片表面的吸附量增大同時表面粗糙度增大、接觸角增大，添加鹽使溶液離子強度增大，導致分子之間斥力減小而構型趨于卷曲，而吸附于金片上的吸附量變大，吸附的表面形貌顆粒大、均方根粗糙度大。適用于剛性和粘彈性薄膜。石英晶體微天平具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度，彈性模量，粘性模量，厚度等信息，倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性，用來評價沉積方法。

　　儀器內(nèi)部USB通訊接口，相對于原有儀器，穩(wěn)定性更強、通用性強，通信可靠不中斷，支持自恢復連接功能。自動切換兩路氣氛流量，切換速度快，穩(wěn)定時間短，標配標準樣品，方便客戶校正恒溫系數(shù)，預安裝軟件，無電腦適應性問題，減少由于更換使用電腦，安裝驅動錯誤導致的連接等問題，支持用戶自編程程序，實現(xiàn)測量步驟全自動化。軟件提供數(shù)十種指令，用戶可根據(jù)自己的測量步驟，靈活組合各指令，并保存。