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無油干式真空泵的工作原理和應用
應用范圍：
無油真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
[1]低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
[2]半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕 性氣體和研磨微粒；
[3]除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要 求；
[4]在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
[5]用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級 泵，以防止油污染。
工作原理：
無油活塞式真空泵又名【干式機械泵】，意思是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術(shù)的發(fā)展以及真空應用領(lǐng)域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。
