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了解下布魯克輪廓儀吧

閱讀:1487      發(fā)布時間:2022-12-30
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布魯克bruker臺階儀輪廓儀可容納高達350mmx350mm的樣品,為大型晶圓和面板制造帶來Dektak®傳奇的可重復性。DektakXTL具有空氣振動隔離設計和全封閉工作站設計,具有易用的聯(lián)鎖門,是當今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強空間感知能力,其高自動化水平可大限度地提高測試通量。  
 
增強的軟件功能使DektakXTL成為功能強大、容易使用的探針式輪廓儀。該系統(tǒng)利用Vision64軟件,通過數(shù)百種內(nèi)置分析工具實現(xiàn)眾多的測量位點、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測量形狀,如曲率半徑。模式識別可大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀的工作流程相結(jié)合。  
DektakXTL以50布魯克bruker臺階儀輪廓儀多年的探針式輪廓儀的專業(yè)知識和生產(chǎn)設施的應用程序定制為基礎,以滿足當今和未來嚴格的行業(yè)路線圖。300毫米高精度編碼XY樣品臺為制造商提供了滿足嚴格計量研發(fā)要求的可靠工具。  
Dektak的雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機提供增強的空間感知。實時視頻中的點擊定位使操作員能夠快速將樣品移動到正確的位置,以便快速輕松地進行測量設置和自動化編程。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。  
 
其他硬件功能包括:  
單拱形架構(gòu)和集成振動隔離系統(tǒng)  
快速更換自對齊探針  
高精度編碼XY樣品臺,實現(xiàn)更快的自動數(shù)據(jù)收集  
N-Lite低力,采用軟觸控技術,具有1mm測量范圍,可同時用于測量精密和高垂直范圍樣品

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