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風淋室在微電子行業(yè)中使用的結構原理
閱讀：438 發(fā)布時間：2019-3-25
微電子行業(yè)使用的風淋室跟普通場所用的風淋室除了部分細節(jié)方面的設置以外，總體結構原理基本相同，微電子行業(yè)使用的風淋室對除塵效果要求相對會更高的一些，如果一個小的部件做不到位，那可能帶來的就無法估量了。
1、概述：風淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設備，用于吹除進入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃，同時風淋室也起到氣閘的作用，防止未經(jīng)凈化的空氣進入潔凈區(qū)域，是進行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區(qū)的有效設備。
結構：系列風淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構件裝備而成，配置離心機風機及初效和空氣過濾器，具有外型美觀、結構緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。
2、原理：風淋室內的空氣由風機的作用經(jīng)初效過濾器進入靜壓箱，經(jīng)空氣過濾器過濾后，潔凈空氣從風淋室的噴嘴高速噴出，噴嘴角度可調節(jié)，可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃，吹下的塵埃再回收進入初效空氣過濾器，如此循環(huán)可以達到風淋的目的。
3、用途及特點:風淋室是操作人員進入潔凈室時使用的人身凈化裝置，它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進入室內人員身上的污物，其噴嘴可調節(jié)，以便有效除去人身上的灰塵，并阻止外界污染進入潔凈區(qū)域。它也可應用于大件貨物的吹淋。
4、設備組成：主要由室體、照明、過濾系統(tǒng)、風機組、吹嘴、電控等部分組成。