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HORIBA STEC SEC-N100系列產(chǎn)品應(yīng)用
閱讀：1276 發(fā)布時(shí)間：2020-5-7
適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用。可實(shí)現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應(yīng)。同時(shí)這款MFC支持多氣體/多量程功能，減少客戶(hù)成本。
*1包括SEC-N177R
n目前的SEC-Z500X 系列產(chǎn)品主要使用于半導(dǎo)體制程, 而SEC-N100 作為它的重要補(bǔ)充，主要針對(duì)非芯片半導(dǎo)體制程而開(kāi)發(fā)。
n同半導(dǎo)體制程一樣，非芯片半導(dǎo)體工藝也已經(jīng)形成相對(duì)統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn)， SEC-N100 系列產(chǎn)品能夠滿(mǎn)足廣大客戶(hù)對(duì)不同制程規(guī)范的要求。
