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高溫四探針測試儀技術(shù)參數(shù)
高溫四探針測試儀技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | ●測量溫度：室溫---600°C ; |
| ●控溫精度：±1℃ ， |
| ●顯示精度：±0.1℃； |
| ●升溫斜率：1-5°C/min； |
| ●測量精度：0.05%； |
| ●電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ; |
| ●電導(dǎo)率：10-5 ～105 s/cm |
| ●方塊電阻：10-4 ～106 Ω/□； |
| ●電阻：10-5 ～105 Ω； |
| ●探針間距：2±0.01mm； |
| ●探針壓力：0~2kg可調(diào)； |
| ●針間絕緣電阻：≥1000MΩ； |
| ●真空腔體漏率標準要小于10-9 Pa?m3/s ; |
| ●樣品：直徑15~30mm，厚度小于4mm； |
| ●設(shè)備尺寸：680mmX450mmX400mm |