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塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理

閱讀：1356 發(fā)布時(shí)間：2013-1-22

塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理

塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理
光散亂式粒子計(jì)數(shù)器（采用激光或白光光源）

主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個(gè)單位體積的個(gè)數(shù)濃度。從得到的數(shù)據(jù)里可以得出其測試范圍（粒徑通道）的個(gè)數(shù)。

首先粒子計(jì)數(shù)儀由內(nèi)部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進(jìn)行氣體（一般的超凈間為室內(nèi)空氣）采樣。當(dāng)采樣氣體中的粒子通過光源（激光）等收束的光束時(shí)，產(chǎn)生光散亂現(xiàn)象。光散亂通過光電變換器變?yōu)殡娦盘?hào)（脈沖），粒子越大得出該脈沖信號(hào)就越大（波峰值），通過此時(shí)的波峰值和脈沖數(shù)就可得出每個(gè)粒徑的個(gè)數(shù)濃度。即通過測試散亂光的數(shù)量和強(qiáng)度，得出實(shí)時(shí)測試數(shù)據(jù)。

凝聚核法粒子計(jì)數(shù)儀（CNC）工作原理

普通光散亂式粒子計(jì)數(shù)儀無法檢測到超凈間內(nèi)漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進(jìn)行測試。采用高溫酒精蒸汽與被測空氣混合達(dá)到過飽和狀態(tài)。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核，粒子徑增大后即可檢測出來。

CNC具有較高的采樣效率，因而可以在短時(shí)間內(nèi)率的檢測到超凈間內(nèi)的粒子濃度。

2、粒子計(jì)數(shù)儀的分類

A、按測試原理分