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淺析哪些因素造成IFM壓力傳感器精度誤差
點擊次數(shù)：1051 發(fā)布時間：2014-5-22
我們在選擇IFM壓力傳感器的時候我們要考慮他的綜合精度，而IFM壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?或者說什么原因會造成傳感器的誤差呢?其實造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說四個無法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。
偏移量誤差：由于IFM壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
線性誤差：這是一個對IFM壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。
滯后誤差：在大多數(shù)情形中，IFM壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
IFM壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備，利用優(yōu)良技術來降低這些誤差，還可以在出廠的時候進行一點的誤差校準，盡zui大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
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