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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀
  • KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀

貨物所在地:廣東深圳市

更新時(shí)間:2025-06-16 08:54:54

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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀臺階儀 對應(yīng)大面積樣品段差測定的全自動機(jī)型。

● 機(jī)臺尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。

● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā),可搭配機(jī)械手臂自動進(jìn)退樣品。

KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述:


● 對應(yīng)大面積樣品段差測定的全自動機(jī)型。

● 機(jī)臺尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。

● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā),可搭配機(jī)械手臂自動進(jìn)退樣品。


高精度.安定性.機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。


● 是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī),針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。


● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。


● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。


● ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)。


● ET4300一適合12"樣品測量。

臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)


KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述:




重現(xiàn)性1σ 1nm
測定范圍Z:100um
分解能Z:0.1nm X:0.1um
測定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)




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