博達(dá)微FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)

FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時(shí)域信號(hào)釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統(tǒng)中完成。其全面而強(qiáng)大的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評估進(jìn)程，并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成，其快速 DC 測試能力進(jìn)一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測試效率。

FS-Pro 釆用工業(yè)通用的 PXI 模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)擴(kuò)展性強(qiáng)， 還支持多通道并行測試，可進(jìn)一步提升測試效率。系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的測試功能，可實(shí)現(xiàn)非常友好的用戶即插即用體驗(yàn)。

FS-Pro 可廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED 材料、二維材料器 件、金屬材料、新型*材料與器件測試等。

基于在產(chǎn)線測試與科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro 不僅被眾 多芯片設(shè)計(jì)公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全面的測試能力更在科研學(xué)術(shù)界受到了廣泛關(guān)注和認(rèn)可，目前已被數(shù)十所國內(nèi)外高校及科學(xué)研究機(jī)構(gòu)所選用。

博達(dá)微FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢

應(yīng)用范圍：

被半導(dǎo)體工業(yè)界和眾多大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)釆用作為標(biāo)準(zhǔn)測試儀器

集成功能：

高速高精度 IV/CV測試能力

脈沖式 IV測試能力

任意線性波形發(fā)生與測量能力

高速時(shí)域信號(hào)釆集能力

與 9812 對準(zhǔn)的低頻噪聲測試能力

使用方式：

通過內(nèi)置專業(yè)軟件 LabExpress 的豐富功能實(shí)現(xiàn)測試

操作簡單靈活，無需編程即可實(shí)現(xiàn)自由的波形發(fā)生或電壓同步與跟隨

系統(tǒng)架構(gòu)：

PXI標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，可擴(kuò)展架構(gòu),支持通過多機(jī)箱擴(kuò)展SMU卡數(shù)量

支持并行測試：

內(nèi)置功能強(qiáng)大的測試算法

支持多通道并行測試

成倍提升測試效率

硬件規(guī)格

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流

高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度

噪聲測試帶寬：高精度最高 100kHz，超低頻最高 40Hz

噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）

內(nèi)置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50us 脈寬

內(nèi)置 CV測試：200V/10kHz，低可測至 20fF

外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）

                              40V/10MHz（高帶寬型）

高速時(shí)域信號(hào)采集：最小采樣時(shí)間 < 1us，10 萬點(diǎn)數(shù)據(jù)

噪聲測試最小阻抗：500Ω

噪聲測試分辨能力：低 2e-28A2/Hz

噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz

高精度快速波形發(fā)生與測量套件 ：2 通道，SMA 接口

                                                       快速 IV 測試：±10V 電壓，最大 10mA 電流

                                                       SMU 直通：±25V 電壓輸入，最大 100mA 電流

                                                       100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns

軟件功能

FS-Pro 系列內(nèi)置 LabExpress 測量軟件具有強(qiáng)大的測試和分析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設(shè)定，具有下列主要功能：

• 完整支持直流、脈沖、瞬態(tài)、電容、噪聲測試、任意波形發(fā)生與測量功能

• 支持長程 Stress 測試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp， J-Ramp）可靠性測試

• 內(nèi)置的常見器件測試預(yù)設(shè)可大大提高測試設(shè)置效率，幫助新手操作者快速完成測試

• 強(qiáng)大的自定義設(shè)定功能可以靈活編輯電信號(hào)

• 內(nèi)置強(qiáng)大數(shù)據(jù)處理能力可測試后直接展幵器件特性分析多種數(shù)據(jù)保存方式，導(dǎo)出數(shù)據(jù)可供用戶后續(xù)分析研究也可直接導(dǎo)入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進(jìn)行模型提取 和特性分析

• LabExpress 專業(yè)版支持對主流探針臺(tái)和矩陣幵關(guān)設(shè)備的控制，支持晶圓映射、并行測試實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測試功能，進(jìn)—步提升測試效率

產(chǎn)品應(yīng)用

新型材料與器件測試

半導(dǎo)體器件可靠性測試

半導(dǎo)體器件超短脈沖測試

半導(dǎo)體器件無損探傷與測試

光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測試

半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測試

應(yīng)用實(shí)例