產(chǎn)品展示

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
2025-07-10 13:28:16
上海市
1376

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡單介紹】

應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門
以下是關(guān)于 VAT UHV系列超高真空閥門的詳細(xì)技術(shù)解析，涵蓋其特性、參數(shù)及應(yīng)用場景，適用于半導(dǎo)體、科研等嚴(yán)苛環(huán)境：

【詳細(xì)說明】

瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

類型：全金屬密封超高真空閥（Ultra-High Vacuum Valve）
適用真空范圍：

標(biāo)準(zhǔn)版：10?? ~ 10?12 mbar
定制版：可達(dá)10?13 mbar（特殊烘烤設(shè)計）

核心優(yōu)勢：

零泄漏：金屬密封漏率 <1×10?12 mbar·L/s（He檢漏）。
耐高溫烘烤：閥體可承受 250°C~300°C 烘烤（標(biāo)準(zhǔn)版）/ 450°C（定制版）。
無有機(jī)材料：全金屬結(jié)構(gòu)，避免放氣污染。

2. 設(shè)計

雙密封系統(tǒng)：主密封（金屬刀口） + 次級密封（彈性補(bǔ)償）。
低扭矩驅(qū)動：磁耦合或波紋管傳動，避免軸封泄漏。
材料純度：316L不銹鋼（EP級電解拋光），表面粗糙度<0.8μm。

二、型號分類與技術(shù)參數(shù)

1. 型號命名規(guī)則（以VAT UHV 24為例）

代碼段	含義
UHV	系列名稱（超高真空閥）
24	通徑尺寸（24=DN40，54=DN100）
后綴	驅(qū)動方式（如-M=手動，-A=氣動）

2. 子型號對比表

型號	通徑	法蘭類型	驅(qū)動方式	漏率	烘烤溫度	價格范圍（￥）
VAT UHV 24-A	DN40	CF-F	氣動	<1×10?12 mbar·L/s	250°C	50,000~80,000
VAT UHV 54-M	DN100	ISO-K	手動	<1×10?12 mbar·L/s	300°C	120,000~180,000
VAT UHV 10-E	DN16	ICF	電動	<1×10?13 mbar·L/s	450°C（定制）	200,000+

3. 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

參數(shù)	標(biāo)準(zhǔn)值/范圍
真空性能
- 漏率	<1×10?12 mbar·L/s（He檢漏）
- 耐壓差	10?12 mbar ~ 大氣壓
機(jī)械性能
- 閥體材質(zhì)	316L不銹鋼（EP級）
- 密封材質(zhì)	銅/鋁鍍金或無氧銅
- 循環(huán)壽命	>50,000次（金屬密封）
電氣/氣動參數(shù)
- 驅(qū)動方式	氣動（0.5~0.7MPa）/電動（24V DC）
- 響應(yīng)時間	氣動版≤1s，電動版≤5s
環(huán)境適應(yīng)性
- 烘烤溫度	標(biāo)準(zhǔn)250°C，定制450°C
- 耐腐蝕性	兼容H?、O?、等離子體（需選配鍍層）

三、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造

應(yīng)用：

刻蝕機(jī)/離子注入機(jī)的腔體隔離（防顆粒污染）。
分子束外延（MBE）系統(tǒng)的超高真空維持。

型號推薦：

VAT UHV 24-A（DN40，氣動快速隔離）。

2. 科研裝置

應(yīng)用：

同步輻射光源的束線控制。
核聚變裝置（如托卡馬克）的真空分段。

型號推薦：

VAT UHV 54-M（DN100，手動可靠密封）。

3. 航天與鍍膜

應(yīng)用：

衛(wèi)星推進(jìn)劑儲罐的真空密封測試。
光學(xué)鍍膜機(jī)的腔體壓力調(diào)節(jié)。

型號推薦：

VAT UHV 10-E（DN16，電動精密控制）。

四、選型與安裝要點

1. 選型關(guān)鍵因素

通徑需求：根據(jù)流量計算（如DN40對應(yīng)約20 L/s @10?? mbar）。
驅(qū)動方式：

氣動：快速開關(guān)（適合安全隔離）。
電動：可集成自動化控制（如PLC）。

法蘭標(biāo)準(zhǔn)：

CF法蘭：超高真空（金屬密封）。
ICF法蘭：極小漏率需求（如10?13 mbar）。

2. 安裝規(guī)范

清潔要求：

安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面（戴無塵手套）。

扭矩控制：

CF法蘭螺栓需按對角線分步擰緊（DN40推薦8~10 Nm）。

烘烤建議：

以10°C/min速率升溫至250°C，保溫48小時。

五、維護(hù)與故障處理

故障現(xiàn)象	可能原因	解決方案
漏率超標(biāo)	密封面劃傷/顆粒污染	重新拋光密封面或更換閥座
閥門卡滯	高溫變形/潤滑不足	使用高溫潤滑脂（如Apiezon N）
驅(qū)動失效	電磁閥故障（氣動版）	檢查氣源壓力（≥0.5MPa）


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一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

2. 設(shè)計

二、型號分類與技術(shù)參數(shù)

1. 型號命名規(guī)則（以VAT UHV 24為例）

2. 子型號對比表

3. 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

三、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造

2. 科研裝置

3. 航天與鍍膜

四、選型與安裝要點

1. 選型關(guān)鍵因素

2. 安裝規(guī)范

五、維護(hù)與故障處理

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