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2023
07-192023
06-19掃描電子顯微鏡在半導(dǎo)體器件研究中的特殊應(yīng)用
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達(dá)...2023
05-262023
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