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Proportion-Air QB3電氣比例閥——激光充電室流量控制

下圖顯示了一個(gè)激光充電室流量控制應(yīng)用程序，該應(yīng)用程序需要可以動(dòng)態(tài)調(diào)整的3種氣體混合物。

使用了三個(gè)F系列閉環(huán)流量控制器- 每個(gè)氣體控制一個(gè)?？梢酝ㄟ^(guò)調(diào)節(jié)相應(yīng)流量控制器的指令信號(hào)來(lái)改變混合物。由于這是一個(gè)閉環(huán)控制方案，來(lái)自流量監(jiān)視器的信號(hào)可用于數(shù)據(jù)采集。該信號(hào)在FQPV2主電氣連接器的引腳5上可用。

在此應(yīng)用中還使用QB3來(lái)控制裝料室中的真空。真空度是一個(gè)關(guān)鍵部件，需要可重復(fù)控制以幫助保持充電室中每種氣體的適當(dāng)水平。