T/CEMIA 030-2022 半導(dǎo)體用正膠顯影液
范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用正膠顯影液的術(shù)語和定義、縮略語、分類、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體用正膠顯影液，其主要組分為通過季銨鹽化合物電解制得的四甲基氫氧化銨。
術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。
縮略語
下列縮略語適用于本文件。
PFA：四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物，又稱過氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。
分類
按照四甲基氫氧化銨的含量進(jìn)行分類，可分為c-a(四甲基氫氧化銨含量≥20.00%的半導(dǎo)體用正膠顯影液)，c-b(四甲基氫氧化銨含量≤5%的半導(dǎo)體用正膠顯影液)。
要求
外觀
無色透明液體。
主要化學(xué)成分
半導(dǎo)體用正膠顯影液的主要化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。
色度
半導(dǎo)體用正膠顯影液的色度應(yīng)不大于5Hazen單位(Pt-Co色號)。
顆粒數(shù)
半導(dǎo)體用正膠顯影液的顆粒數(shù)應(yīng)符合表2的規(guī)定。
甲醇
半導(dǎo)體用正膠顯影液的甲醇含量應(yīng)符合表3的規(guī)定。
陰離子雜質(zhì)含量
半導(dǎo)體用正膠顯影液的陰離子雜質(zhì)含量應(yīng)符合表4的規(guī)定。
金屬雜質(zhì)含量
半導(dǎo)體用正膠顯影液的金屬雜質(zhì)含量應(yīng)符合表5的規(guī)定。
表面張力
c-b的表面張力指標(biāo)管控可由供應(yīng)商與客戶協(xié)商決定。
檢驗(yàn)方法
四甲基氫氧化銨含量
按 SJ/T 11636 的規(guī)定進(jìn)行。
SJ/T 11636-2016 電子工業(yè)用顯影液中四甲基氫氧化銨的測定 自動(dòng)電位滴定法
碳酸根離子
按 SJ/T 11635 的規(guī)定進(jìn)行。
SJ/T 11635-2016 電子工業(yè)用顯影液中碳酸根離子的測定 自動(dòng)電位滴定法
京都電子KEM 高精密度自動(dòng)電位滴定儀 AT-710S
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