凈化車間內(nèi)該如何防止微粒子污染呢?應遵守下列四項基本原則：
一、不攜入
在潔凈車間內(nèi)不攜入微粒子的方法有：
1)作業(yè)員進入潔凈車間前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理;
2)進入潔凈車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入潔凈車間。
4)機器及材料帶進潔凈車間前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進潔凈車間前室保養(yǎng)后用純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入潔凈車間。
5)潔凈車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
二、不制造
在控制大污染源--人在凈化車間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
三、不儲備
若能實施“不攜入”技術(shù)，潔凈室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的潔凈車間內(nèi)要有潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。
在高等級的潔凈車間中從天花板到地面，除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和過濾空氣交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在潔凈車間內(nèi)，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。
潔凈車間內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
四、排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓潔凈車間內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向潔凈室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到潔凈車間內(nèi)之對策。
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