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關于掃描電鏡的結構組成盡在本篇

閱讀:985      發(fā)布時間:2023-5-10
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  在材料領域,掃描電鏡技術扮演了極為重要的角色,廣泛用于多種材料形態(tài)結構,界面狀況,損傷機制和材料性能預測的研究。
 
  自從1965年第一臺商品掃描電鏡問世以來,經(jīng)過40多年的不斷改進,掃描電鏡的分辨率從第一臺的25nm提高到現(xiàn)在的0.01nm,而且大多數(shù)掃描電鏡都能與X射線波譜儀、X射線能譜儀等組合,成為一種對表面微觀世界能夠經(jīng)行全面分析的多功能電子顯微儀器。
 
  用掃描電鏡可直接對晶體缺陷及生成過程進行研究,可觀測金屬材料內部原子及其真實邊界的集結模式,還可觀測不同情況下邊界的運動模式,也可對晶體進行表面機械加工造成的破壞及輻射損傷進行檢驗等等。
 

 

  掃描電鏡大致可以分為鏡體與電源電路系統(tǒng)兩個組成部分。鏡體部分主要包括電子光學系統(tǒng),信號收集與顯示系統(tǒng),真空抽氣系統(tǒng)。
 
  (1)電子光學系統(tǒng)
 
  由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
 
  (2)信號收集及顯示系統(tǒng)
 
  檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調制信號。現(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導管和光電倍增器所組成。
 
  (3)真空系統(tǒng)
 
  真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學系統(tǒng)正常工作,防止樣品污染,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。
 
  (4)電源系統(tǒng)
 
  電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓,穩(wěn)流及相應的安全保護電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。

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