烘膠臺(tái) 智能烘膠臺(tái)  型號(hào)：BP/2B

產(chǎn)品主要用于光刻工藝中的前烘和堅(jiān)膜。本產(chǎn)品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作。本產(chǎn)品操作方便、穩(wěn)定性高，具有較高的性能價(jià)格比，可廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規(guī)格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控儀PID調(diào)節(jié)（功率調(diào)節(jié)），自動(dòng)測(cè)溫，控溫
外形尺寸280×360×220mm

勻膠機(jī) 型號(hào)： SC/1B

技術(shù)指標(biāo)及配置：
　　1. 用于Φ5至Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
　　2. 采用變頻器控制電機(jī)轉(zhuǎn)速，可實(shí)現(xiàn)均勻調(diào)速。轉(zhuǎn)速及其勻膠時(shí)間分別設(shè)置，可同時(shí)輸入七組數(shù)值，即轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ檔、……Ⅶ檔，從而達(dá)到啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(Ⅰ檔)，然后自動(dòng)執(zhí)行Ⅱ檔、……直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)速設(shè)置范圍: 300轉(zhuǎn)/分(或更低) ～ 8000轉(zhuǎn)/分勻膠時(shí)間設(shè)置范圍: 1～3600秒。
　　3. 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%
　　4. 膠的均勻性：±3%
　　5. 電機(jī)功率：90W
　　6. 樣片托： 1吋、2吋各一個(gè)
　　7. FY-1 機(jī)泵一個(gè)(0.5升/秒)
　　8.整機(jī)重量：9公斤

臺(tái)式勻膠機(jī)型號(hào)：KW-4A 

臺(tái)式勻膠機(jī)：（Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。  
詳細(xì)介紹： 勻膠機(jī)(英文名：Spin Coater)  
行業(yè)俗稱:勻膠臺(tái),甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂?jī)x等。  

 KW-4A  

  
產(chǎn)品概述:  
 同德品牌KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.  
勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動(dòng),可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點(diǎn).  
同德公司勻膠機(jī)在這方面采取了許多新技術(shù):  
(一)該設(shè)備采用新技術(shù),使用進(jìn)口配件(韓國(guó)定子和轉(zhuǎn)子，美國(guó)電機(jī))使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加.  
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵(lì)磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速*得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.在未取得真空的狀態(tài)不會(huì)轉(zhuǎn)到,保證了使用的可靠性.  
(三)本勻膠機(jī)有兩個(gè)轉(zhuǎn)速.在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào).  
(四)本勻膠機(jī)測(cè)速采用光電的辦法,在光電測(cè)速盤的邊上有三個(gè)缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測(cè)速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個(gè)脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時(shí),如果計(jì)時(shí)器在2秒內(nèi)計(jì)的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計(jì)數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個(gè)數(shù)量級(jí).  
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率.  
(六)勻膠機(jī)的定時(shí)功能由時(shí)基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個(gè)勻膠時(shí)間.  
(七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時(shí)間,時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.  
(八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度.  
(九)勻膠機(jī)配真空泵使用（推薦配套使用雙級(jí)無油環(huán)保真空泵 SK-65C型）  

性能指標(biāo)：  
1,特點(diǎn)是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間分別連續(xù)控制,在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn).也可單獨(dú)使用低轉(zhuǎn)速或者高轉(zhuǎn)速  
Ⅰ檔 調(diào)速范圍：500-2000轉(zhuǎn)/分 Ⅰ檔 勻膠時(shí)間：2-18秒  
Ⅱ檔 調(diào)速范圍：1300-8000轉(zhuǎn)/分 Ⅱ檔 勻膠時(shí)間：3-60秒  
2,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1% ,膠的均勻性：±3% .  
3,電源電壓：220V/ 50Hz  
4,電機(jī)功率：40W  
5,適用：Φ5-Φ100mm硅片或其它材料的勻膠.(備有各種型號(hào)托盤選購或者免費(fèi)特殊訂制)  
6,真空泵抽氣速率 ≥60L/S  
7,產(chǎn)品體積小,重量輕,操作簡(jiǎn)便,易維護(hù)  
勻膠機(jī)主體尺寸：210×220×160 mm