3D光學表面輪廓儀S neox將共聚焦、干涉和多焦面添加3種測量技術融合于一體，測量頭內(nèi)無運動部件。3D光學輪廓儀S neox 為客戶展現(xiàn)全新的3D立體形貌。 S neox采用Sensofar設計的Microdisplay共聚焦掃描技術。Microdisplay使用FLCOS原理，可實現(xiàn)無需機械運動的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩(wěn)定和無限使用時間的特點?，F(xiàn)有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動掃描的方式，因為有機械震動會造成測量時抖動，使用時間也有限。
一、3D光學表面輪廓儀S neox的特點：
1、多波長的LED光源
S neox有4個獨立的LED光源紅色、綠色、藍色和白色，可以滿足各種應用的需要。
2、驚艷的圖片質(zhì)量
S neox采用1360×1024的高分辨率CCD，顯示分辨率達2560×1440像素。圖像銳利、生動、無延遲。
3、順序照明的彩色圖像
在掃描時紅、綠、藍三色LED交替照明，并將三張彩色的圖片還原成一幅高分辨率的彩色圖像。相比其他品牌采用像素插值算法，S neox獲得的圖片色彩保真度和還原性要更勝*。
4、栩栩如生的3D形貌呈現(xiàn)清晰的納米世界
彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內(nèi)觀察到納米級的細節(jié)。
5、難以置信的3D掃描速度
一次完整的3D掃描時間還不到10秒。用掃描速度掃描低反射率的樣品時，3D掃描時間將少于3秒。
6、高質(zhì)量的物鏡，好的成像質(zhì)量
S neox的水平分辨率和縱向分辨率要比激光共聚焦顯微鏡更優(yōu)秀，達到了光學顯微鏡系統(tǒng)的極限。
二、SensoSCAN測量及分析軟件：
1、省時省力
SensoSCAN是一款簡潔友好的操作軟件。在軟件界面內(nèi)，用戶可以直觀明確地了解所用的測量方式，同時還能顯示和分析數(shù)據(jù)。
2、完善系統(tǒng)的*工具
導航預覽功能可以自動地幫助用戶在準備測量前大范圍觀察樣品，找到測量點。當轉(zhuǎn)換倍數(shù)時，預覽圖上也會實時顯示當前的觀察點位置。
3、智能編程，全自動測量
全自動測量是一項標準功能，通過它用戶能輕易地實現(xiàn)可定制的質(zhì)量管控。對在線測量來說，用戶可以方便地實現(xiàn)產(chǎn)品ID輸入、自動走位測量、自動數(shù)據(jù)輸出和‘pass和fail’判斷。
4、快速完成測量計算
*的算法使S neox能在放置樣品后不到一分鐘就給出結果。所有的數(shù)據(jù)都是我們專注于質(zhì)量和高性能的成果。
5、強大的專業(yè)分析軟件
增配SensoPRO或SensoMAP軟件就能輕易實現(xiàn)全自動測量和分析。
三、應用：
S neox是一款多用途的設備，可以滿足您的各種應用要求，在半導體、生物醫(yī)藥和生物技術產(chǎn)業(yè)里起到關鍵作用。
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