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廣州市愛宕科學儀器有限公...

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日本ATAGO（愛宕）折光儀在光刻設備中的應用

閱讀：277      發(fā)布時間：2011-08-30
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浸入式光刻是指在光刻機投影鏡頭與半導體硅片之間用一種液體充滿，從而獲得更好分辯率及增大鏡頭的數值孔徑，進而實現更小曝光尺寸的一種新型光刻技術。日本ATAGO（愛宕）是折光儀產品的，其*的高折射率阿貝折射儀及多波長阿貝折射儀在光刻機領域高折射率浸入液的研究與高折射率鏡頭的研究中具有不可替代的作用。

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 廣州市愛宕科學儀器有限公司

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