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技術(shù)文章

室溫真空探針臺的重要性

點擊次數(shù):588 發(fā)布時間:2023-6-19

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微?。{米級)的微電子器件,要去測試它的基本電學(xué)性能(如電流、電壓、阻抗等) 時配有顯微鏡的高精度探針臺能夠提供良好的電測環(huán)境。通過顯微鏡和CCD將待測器件放大,用高精度微探針對待測器件進(jìn) 行扎針再外接電學(xué)測試儀表進(jìn)行測試和分析。此外,對于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件,即便在電學(xué)測試的過程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中,因此室溫真空探針臺是這種類型測試的不er選擇。

      室溫真空探針臺能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個室溫真空測試環(huán)境,通過外接不同的電學(xué)測量儀器,可完成集成 電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測,用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。

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隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微?。{米級)的微電子器件,要去測試它的基本電學(xué)性能(如電流、電壓、阻抗等) 時配有顯微鏡的高精度探針臺能夠提供良好的電測環(huán)境。通過顯微鏡和CCD將待測器件放大,用高精度微探針對待測器件進(jìn) 行扎針再外接電學(xué)測試儀表進(jìn)行測試和分析。此外,對于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件,即便在電學(xué)測試的過程中 也需要將樣品置于真空環(huán)境中,因此室溫真空探針臺是這種類型測試的不er選擇。

      室溫真空探針臺能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個室溫真空測試環(huán)境,通過外接不同的電學(xué)測量儀器,可完成集成 電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測,用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。



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