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探針臺測試系統(tǒng)簡介
點擊次數(shù)：1416 發(fā)布時間：2023-3-1
探針臺，是我們半導(dǎo)體實驗室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備，也是各大實驗室以及芯片設(shè)計、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項優(yōu)勢，高性能低成本，用途廣，操作方便，在不同測試環(huán)境下，測試結(jié)果穩(wěn)定，客觀，深受工程師們的青睞。
探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機、探針臺和分選機。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機，不同環(huán)節(jié)中測試機需要和分選機或探針臺配合使用。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實驗臺，它的諸多設(shè)計都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進行選配及設(shè)計。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián)；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進行設(shè)計優(yōu)化。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
t 靜音真空泵
探針臺的維護和保養(yǎng)：
1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺時應(yīng)避免碰撞，機體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機器發(fā)生故障或異常異音。
2.儀器的運輸：儀器運輸時，請先拔掉電源線插頭。
儀器運輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運動部件。
3.儀器的存放
使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。
探針臺機體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。
探針臺光學(xué)部件清潔時，可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時易燃物，注意使用安全。
停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
操作人員必須嚴(yán)格按要**作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。
4.工作環(huán)境
探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上，最好是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。