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技術(shù)文章

選擇探針臺時需要注意哪些事項

點擊次數(shù):1810 發(fā)布時間:2022-8-5

探針臺是一種很專業(yè)的儀器,它主要的功能就是針對半導體元件進行檢測,這里面說的半導體元件指的是集成電路,分立器件,光電器件,傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓,電流,電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測??梢赃m用于對芯片進行科研分析,抽查檢測等;可以保證這些半導體元件的質(zhì)量,縮短研發(fā)時間和器件制作工藝的成本,所以,它的存在對于制造半導體的企業(yè)來說是非常重要的。

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以下是探針臺選型注意事項

※zui大需要測幾inch的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片,最小的單顆芯片尺寸?
※探針臺機械精度要求多高?
※點測樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路?
※最多需要幾個探針同時去點測?
※是否會用到探針卡測試?
※光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?
※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?
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※探針點測時,對電流的要求能否達到100fa或者以下?低

電容要求能否要做到0.1pf?是否有射頻需求?
※接駁的測試儀器接口有哪些?
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?
※對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有壓縮空氣?







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