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技術(shù)文章

探針臺(tái)選型的注意事項(xiàng)

點(diǎn)擊次數(shù):1289 發(fā)布時(shí)間:2021-3-10

探針臺(tái)選型的注意事項(xiàng)

探針臺(tái)是一種很專業(yè)的儀器,它主要的功能就是針對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行檢測(cè),這里面說的半導(dǎo)體元件指的是集成電路,分立器件,光電器件,傳感器等元件以及封裝的測(cè)試。通過探針臺(tái)配合測(cè)量儀器可完成集成電路的電壓,電流,電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)??梢赃m用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析,抽查檢測(cè)等;可以保證這些半導(dǎo)體元件的質(zhì)量,縮短研發(fā)時(shí)間和器件制作工藝的成本,所以,它的存在對(duì)于制造半導(dǎo)體的企業(yè)來說是非常重要的。

隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)的逐步開放和增長,作為半導(dǎo)體檢測(cè)的*儀器探針臺(tái)的市場(chǎng)也在逐年增長和擴(kuò)大中,不論是海外品牌還是國產(chǎn)品牌,近幾年在半導(dǎo)體檢測(cè)儀器市場(chǎng)中的規(guī)模都在逐年擴(kuò)大。

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從探針臺(tái)市場(chǎng)來看,目前還是以國外的企業(yè)為主導(dǎo),他們占據(jù)了大部分的探針臺(tái)市場(chǎng)。近乎7成的*都被國外探針臺(tái)企業(yè)所占據(jù),僅有3成的市場(chǎng)由中國臺(tái)灣企業(yè)及國內(nèi)的廠商占據(jù),可以說比重較低。

由于我國在半導(dǎo)體市場(chǎng)上長期被國外企業(yè)掣肘,因此,我國已經(jīng)開始下大力氣在半導(dǎo)體的研發(fā)中了,國家會(huì)給半導(dǎo)體行業(yè)很多政策上的扶持。所以,國內(nèi)的探針臺(tái)企業(yè)也在努力力爭上游,帶著研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷提升自身技術(shù)和自身的競(jìng)爭力。相信在不久的將來,我國半導(dǎo)體行業(yè)將會(huì)有飛躍性的進(jìn)展。

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探針臺(tái)按照功能區(qū)分,分為常溫探針臺(tái),高溫探針臺(tái),高低溫探針臺(tái),以及霍爾探針臺(tái)還有其他定制型探針臺(tái)等,而目前常溫探針臺(tái),高溫探針臺(tái)無論是性能還是操作使用便捷性上,都已經(jīng)足以媲美進(jìn)口品牌,而高低溫探針臺(tái)液氮(77K)溫區(qū)經(jīng)過這幾年的發(fā)展品質(zhì)也足夠穩(wěn)定,至于超低溫液氦(4K)溫區(qū)還在需要更多的磨練與發(fā)展。但是這里值得注意的是不管處于哪個(gè)技術(shù)要求下的探針臺(tái),國產(chǎn)探針臺(tái)的價(jià)格都能比進(jìn)口探針臺(tái)相差幾倍,甚至幾十倍之大。

北京錦正茂科技有限公司專注于物理、化學(xué)和材料等領(lǐng)域的科學(xué)儀器研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)為一體的綜合型高科技企業(yè)。為廣大科研工作者提供磁性、低溫、高溫、真空、的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。自2011年成立至今,已研發(fā)出高低溫磁場(chǎng)真空探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)。探測(cè)設(shè)備使用典型的單系統(tǒng)四探針法(也支持雙探針,六探針或八探針)測(cè)量直流脈沖,低頻率信號(hào)或微波信號(hào)或同時(shí)使用兩種信號(hào)。我們制造的每套系統(tǒng)都采用標(biāo)準(zhǔn)的品質(zhì)工藝。所生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)成為您所有的對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)和定制低溫系統(tǒng)的需求的很好的選擇。

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以下是探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)

※大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件?是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片,小的單顆芯片尺寸?
※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高?
※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸?100μm *100μm60μm *60μmpad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路?
※多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)?
※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試?
※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少?
※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)?
※探針點(diǎn)測(cè)時(shí),對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下?低

電容要求是否要做到0.1pf?是否有射頻需求?
※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些?
※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?
※對(duì)chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?
※是否需要防震桌?
※若添置防震桌,是否有壓縮空氣?



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