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技術文章

高低溫真空探針臺

點擊次數:1111 發(fā)布時間:2020-10-21

  高低溫真空探針臺

產品概述:

   可進行真空環(huán)境下的高低溫測試(4.2K~500K),可升級加載磁場,低溫防輻射屏設計,樣品臺采用高純度無氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置,支持光纖光譜特性測試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動,器件的高頻特性(支持*67GHz頻率),探針熱沉設計,LD/LED/PD的光強/波長測試,自動流量控制,材料/器件的IV/CV特性測試等。

 

 

高低溫真空探針臺選型注意事項:

※大需要測幾inch的晶圓或者器件!是否需要測試破片或者單顆芯片!小的單顆芯片尺寸!

※探針臺機械精度要求多高!

※點測樣品的電極尺寸!100μm *100μm60μm *60μmpad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內部的metal線路!

※多需要幾個探針同時去點測!

※是否會用到探針卡測試!

※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少!

※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測!

※探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下!低

電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求!

※接駁的測試儀器接口有哪些!

※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體!

※對chuck的漏電要求怎樣!是否需要添加低阻抗chuck!

※是否需要防震桌!

※若添置防震桌,是否有壓縮空氣!

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