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技術(shù)文章

探針臺(tái)應(yīng)用技術(shù)

點(diǎn)擊次數(shù):1456 發(fā)布時(shí)間:2020-8-11

探針臺(tái)應(yīng)用技術(shù)

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)選型注意事項(xiàng):

※大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件!是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片!小的單顆芯片尺寸!

※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高!

※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路!

※多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)!

※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試!

※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少!

※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)!

※探針點(diǎn)測(cè)時(shí),對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下!低

電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求!

※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些!

※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體!

※對(duì)chuck的漏電要求怎樣!是否需要添加低阻抗chuck!

※是否需要防震桌!

※若添置防震桌,是否有壓縮空氣!

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