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技術(shù)文章

探針臺技術(shù)指導(dǎo)

點擊次數(shù):1262 發(fā)布時間:2020-8-11


選型注意事項:

※大需要測幾inch的晶圓或者器件!是否需要測試破片或者單顆芯片!小的單顆芯片尺寸!

※探針臺機械精度要求多高!

※點測樣品的電極尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路!

※多需要幾個探針同時去點測!

※是否會用到探針卡測試!

※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少!

※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測!

※探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下!低

電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求!

※接駁的測試儀器接口有哪些!

※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體!

※對chuck的漏電要求怎樣!是否需要添加低阻抗chuck!

※是否需要防震桌!

※若添置防震桌,是否有壓縮空氣!



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