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電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（簡稱ICP-MS），是20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的一種新的微量（10-6）、痕量（10-9）和超痕量（10-12）元素分析技術(shù)?？蓽y定元素周期表中大部分元素，極低的檢出限、極寬的動(dòng)態(tài)線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀分析速度快、操作簡單、靈敏度高、背景噪音低、消除干擾效果更佳、維護(hù)方便。一鍵式等離子體設(shè)置使得等離子體的優(yōu)化更為簡便具有的重現(xiàn)性。等離子體屏蔽技術(shù)，極大地提高儀器的靈敏度，改善低質(zhì)量數(shù)元素的檢出限，達(dá)到ppt水平。具有*的活動(dòng)接口門結(jié)構(gòu)，可在真空下替換和裝卸采樣錐與截取錐，便于日常維護(hù)。六級桿碰撞反應(yīng)池，提高離子傳輸效率和消除多原子離子干擾能力。無需數(shù)/模切換，由計(jì)算機(jī)全自動(dòng)設(shè)定和控制，實(shí)現(xiàn)9個(gè)數(shù)量級的濃度動(dòng)態(tài)范圍。新型真空腔體結(jié)構(gòu)，無任何導(dǎo)線連接，各個(gè)組件采用不對稱安裝和插入式安裝。

應(yīng)用領(lǐng)域
1、環(huán)境領(lǐng)域：飲用水、海水、環(huán)境水資源食品、衛(wèi)生防疫、商檢等。

2、半導(dǎo)體領(lǐng)域：高純金屬，高純試劑，Si 晶片的超痕量雜質(zhì)，光刻膠等。

3、醫(yī)藥及生理分析領(lǐng)域：頭發(fā)、全血、血清、尿樣、生物組織等醫(yī)藥研究，特別是全血鉛的測定。

4、核工業(yè)領(lǐng)域：核燃料的放射性同位素的分析，初級冷卻水的污染分析等。

5、其他領(lǐng)域：如化工，石化、地質(zhì)等。