INFICON PEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰極濺射鍍膜工藝上。在總線的選擇方面，除了對數(shù)的模擬輸出信號(hào)輸出外還有便于集成到真空系統(tǒng)的Profibus DP或DeviceNet協(xié)議輸出。
INFICON PEG100真空潘寧規(guī)優(yōu)點(diǎn)
■測量范圍廣：5 X 10 -7～1 Pa
■全金屬冷陰極陶瓷傳感器
■新型幾何電極提供了*的點(diǎn)火性能
■降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰極板污染的危險(xiǎn)，即使在氬濺射過程中也一樣
■陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易
■zui小磁場強(qiáng)度測量
■ LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
■對數(shù)模擬輸出信號(hào)
■ Fieldbus總線接口（Profibus DB, DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信