研究結(jié)果表明，利用飛秒激光燒蝕-電感耦合等離子體質(zhì)譜法可以對(duì)太陽電池薄膜的成分進(jìn)行高精度的定量分析。結(jié)果表明，在飛秒激光束（λ = 1030 nm, τ = 450 fs）掃描CIGS表面時(shí)，采樣條件對(duì)掃描結(jié)果有較大的影響。在z+u+i佳采樣條件下測(cè)得的fs-LA-ICP-MS信號(hào)，通常與電感耦合等離子體發(fā)射光譜法(ICP-OES)測(cè)量的參考濃度呈一條校準(zhǔn)直線。fs-LA-ICP-MS預(yù)測(cè)的銅、銦、鎵、硒元素的濃度比準(zhǔn)確度較高，達(dá)到ICP-OES測(cè)定值的95% - 97%。