當(dāng)磁控濺射鍍膜機出現(xiàn)故障后應(yīng)先要向使用者了解故障的現(xiàn)象，之后要親自開機觀察故障，這樣才能更準(zhǔn)確、更快、更合理地排除故障。
排除故障應(yīng)先檢測低真空是否正常（機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發(fā)室），低真空正常后再開主泵，主泵正常后檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再開高閥進行高真空檢測檢漏，直至達到真空，極限真空、保真空、恢復(fù)真空，如極限真空和保真空正常，而恢復(fù)真空和真空不正常則可能主泵有問題。
今天給大家列舉一些磁控濺射鍍膜機使用過程中常見的故障和解決方法，希望能幫助大家！
一、當(dāng)正在鍍膜時真空度突然下降。
1、蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）
2、坩堝被打穿（更換坩堝）
3、高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）
4、工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞（更換膠圈）
5、預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
6、高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）
7、機械泵停機可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否正常）
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）
9、擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈）
10、玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）
二、磁控濺射鍍膜機抽真空時間過長，且達不到真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空。
1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清冼）
2、擴散泵很久未換油（應(yīng)清冼換油）
3、前級泵反壓強太大機械泵真空度太低（應(yīng)清冼換油）
4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）
5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）
6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）
7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）
8、高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）
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