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氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)...
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