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HYDAC壓力傳感器實(shí)際使用
點(diǎn)擊次數(shù)：420 發(fā)布時(shí)間：2015-8-22
HYDAC壓力傳感器實(shí)際使用
HYDAC壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐、儀器儀表控制中zui為常用的一種傳感器，并廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、
鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。
HYDAC壓力傳感器的種類繁多，如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳
感器及電容式加速度傳感器等。
但應(yīng)用的是壓阻式HYDAC壓力傳感器，
HYDAC壓力傳感器具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性。下面我們主要介紹這類傳感器。
1、壓阻式HYDAC壓力傳感器原理與應(yīng)用：
壓阻式HYDAC壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。
壓阻式HYDAC壓力傳感器常用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測量和控制。
壓阻效應(yīng)當(dāng)力作用于硅晶體時(shí)，晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個(gè)能谷向另一個(gè)能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量，
從而使硅的電阻率發(fā)生變化。
這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì)，前者電阻隨壓力的變化
主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化（應(yīng)變），而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。
壓阻式HYDAC壓力傳感器結(jié)構(gòu)
壓阻式HYDAC壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感
器又稱為固態(tài)壓力傳感器，
HYDAC壓力傳感器不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的
高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。
硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型定域擴(kuò)散4條雜質(zhì)電阻條,
并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。
硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。