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　　隨著微型計(jì)算機(jī)多媒體技術(shù)的發(fā)展和普及，光學(xué)薄膜在液晶顯示屏，CRT顯示器等方面廣泛應(yīng)用。為了提高光學(xué)薄膜的生產(chǎn)效率和改善產(chǎn)品質(zhì)量有必要逐步導(dǎo)入人工智能鍍膜新技術(shù)。膜厚測(cè)量?jī)x適用于nm及um級(jí)薄膜厚度測(cè)量，測(cè)量的空間分辨率(測(cè)量點(diǎn)的大小)可達(dá)10um，厚度測(cè)量準(zhǔn)確度為nm級(jí)。
 

　　工作原理：
 

　　物質(zhì)在被一定波長(zhǎng)的X射線(xiàn)照射時(shí)，元素將處于激發(fā)狀態(tài)而發(fā)射出光子，形成一種特征X 熒光射線(xiàn)。每一種元素的能量都是一一對(duì)應(yīng)的，探測(cè) 器在接收到元素的特征X熒光射線(xiàn)之后，可以通過(guò)其中的光子能量進(jìn)行定性分析，還可通過(guò)其中的光子量值進(jìn)行定量分析。
 

　　膜厚測(cè)量?jī)x對(duì)樣品進(jìn)行非接觸式、無(wú)損、高精度測(cè)量，可測(cè)量反射率、顏色、膜厚等參數(shù)。可應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體材料、高分子材料等薄膜層的厚度測(cè)量，在半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、液晶面板和光學(xué)行業(yè)以及科研所和高校都得到廣泛的應(yīng)用。
 

　　這里所指的人工智能鍍膜的含意，就是指在沒(méi)有鍍膜專(zhuān)家的情況下，也能按照zhi定的光學(xué)特性，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)鍍膜。一般來(lái)說(shuō)，這樣的系統(tǒng)包括以下的幾部分。
 

　　(1)針對(duì)鍍膜機(jī)系統(tǒng)，建立鍍膜條件及薄膜的光學(xué)常數(shù)的數(shù)據(jù)庫(kù)；
 

　　(2)薄膜的設(shè)計(jì)及合成；
 

　　(3)鍍膜的仿真，考慮薄膜的折射率及膜厚的影響；
 

　　(4)求出鍍膜條及膜厚控制的數(shù)據(jù)；(5)實(shí)際鍍膜，測(cè)出各層的膜厚及折射，再做設(shè)計(jì)；
 

　　(6)產(chǎn)品的性能測(cè)試。