太赫茲有著光明的應用前景，還是片未開墾的處女地。電子科技大學太赫茲中心自成立以來，為太赫茲科學研究搭建了更高的合作發(fā)展平臺，也標志著我國太赫茲科學研究邁入了嶄新階段。

    2018年6月，應電子科技大學太赫茲中心對真空環(huán)境下進行太赫茲近場光學研究的需求，QD中國工程師配合德國neaspec公司立即展開積響應并為客戶量身定制了套真空太赫茲波段近場光學顯微系統(tǒng)（HV-THz-neaSNOM），并已成功安裝。

圖1：電子科技大學太赫茲中心安裝調(diào)試現(xiàn)場

圖2：真空太赫茲波段近場光學顯微系統(tǒng)（HV-THz-neaSNOM）

    電子科技大學太赫茲中心原有套大氣環(huán)境太赫茲波段近場光學顯微系統(tǒng)（THz-neaSNOM），空間分辨率~50nm、寬太赫茲時域近場響應波段0.5-2.2THz。由于更進步的科研需要，客戶需在更加嚴格的真空條件下進行太赫茲實驗。為了滿足客戶的實驗需求，德國neaspec公司在原有大氣環(huán)境THz-neaSNOM的基礎上，結(jié)合低溫散射式近場光學顯微鏡（Cryo-neaSNOM）技術(shù)，設計了新的真空腔體系統(tǒng)，改進了原子力顯微鏡布局，并重新設計了光路，終成功研發(fā)出了套真空太赫茲波段近場光學顯微系統(tǒng)（HV-THz-neaSNOM）。

    該套系統(tǒng)成功地繼承了德國neaspec公司THz-neaSNOM的設計勢，采用雙光路設計，*可以實現(xiàn)真空環(huán)境下太赫茲波段應用的樣品測量。HV-THz-neaSNOM在實現(xiàn)30nm高空間分辨率的同時，由于采用0.1-3THz波段的時域太赫茲光源（THZ-TDS），也可以實現(xiàn)近場太赫茲成像和圖譜的同時測量。這大地滿足真空環(huán)境中太赫茲近場光學研究的需求，可以減少大氣中水對太赫茲波段的吸收影響，能更好地保持樣品的潔凈，為用戶進步集成真空設備提供了基礎。

圖3：系統(tǒng)理論培訓

圖4：現(xiàn)場實時操作培訓

    太赫茲波有*的穿透性，對不透明物體能完成透視成像，用來做半導體材料、生物樣品等的檢測是其應用趨勢之。該套真空太赫茲波段近場光學顯微系統(tǒng)（HV-THz-neaSNOM）的集成，將在生物應用、半導體元器件和相變材料載流子等研究及域都有著廣闊的應用前景，有望為廣大太赫茲科研工作者提供更多實際研究工作中的便和支持。