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單晶P/N型號測試儀方案

2022-6-23  閱讀(475)

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本儀器運用了第四代集成電路設(shè)計、生產(chǎn)。儀器采用熱電法測量硅單晶型號,配置了可自動恒溫的熱探筆,并由液晶器件直接發(fā)顯示N、P型。對于電阻率小于1000Ω.cm的硅片、塊以準確地鑒定出導(dǎo)電型號。
適用范圍
適合檢測硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等,生產(chǎn)多晶硅料的企業(yè)
適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)
適用于科研、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業(yè)
產(chǎn)品特點
儀器消除了珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負效應(yīng)的影響,因此測試精度提高
測量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
%特的設(shè)計能消除測量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差,   測量的高精度和,寬的量程范圍
雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測量%,,操作%簡便
具有的測試數(shù)據(jù)查詢及打印功能
測量系統(tǒng)可實現(xiàn)自動換向測量、求平均值、,值、,值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測量重復(fù)性提高
采用進口元器件,留有%大的,系數(shù),提高了測試儀的,性和使用壽命
測量電流采用高度穩(wěn)定的恒流源(萬分之五精度),不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能,,測試結(jié)果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設(shè)備的性能
,參數(shù)
測量范圍
鍺:近本征鍺≤103 Ω?cm    硅≤103 Ω?cm
顯示方式: 液晶直顯
功    耗:30W
供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz.
推薦使用環(huán)境:溫度:23±2℃   相對溫度:≤65%

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